화합물 반도체 특허

이번에 소개해드리는 등록특허는 당소에서 출원에서 등록까지 담당한 주식회사 RFHIC의 화합물 반도체 특허 발명에 관한 것입니다. 5G 시대를 맞이하여 RFHIC는 더욱 더 고출력, 고효율, 고신뢰성의 RF 칩 등 5G 관련 부품을 생산하고 있습니다. 본 등록특허는 5G뿐만 아니라 레이더 등의 방위산업에도 활용될 수 있는 GaN-on-diamond 구조에 관한 것입니다.

본 특허의 개선사항

본 특허는 재료 격자의 미스매치 해소할 수 있는 방식으로 SiC 성장 기판 위에 GaN 이종접합 구조를 형성하여 신뢰성을 확보하면서, 다정질 다이아몬드와 SiC의 열팽창 계수의 차이에서 초래되는 크랙(crack), 보우(bow)를 방지합니다.

따라서 GaN 반도체에서 생성되는 열을 더 효과적으로 제거할 수 있고 GaN 반도체의 동작 신뢰성이 확보될 수 있습니다.

자세한 내용은 등록특허공보 제10-2273305호를 참고해주세요!

화합물 반도체 특허
레이저 빔의 초점을 기판 내부에 위치시킴

메타 특허법률사무소 – 재료, 반도체 소자에 관한 전문성

저희 메타 특허법률사무소는 코스닥 상장 회사, 국내외 중소기업, 외국 정부기관, 국내외 대학, 연구소, 의료기관 등을 대리하고 있으며, 국내 지식재산권 문제뿐만 아니라 국제 지식재산권 문제에 대해서 고객님들께 자문을 드리고 있습니다. 본 등록특허에서와 같이 저희 다양한 전문 분야 중 전기, 전자, 재료, 반도체 소자 등에 관한 저희 전문성이 많은 분께 도움이 될 수 있기를 바랍니다.